AMS Technologies stellt neue Excimer-Laser für industrielle und wissenschaftliche Anwendungen im mittleren Leistungsbereich vor

Die Laserbaureihe IPEX-700 wurde speziell für Arbeitszyklen in F&E-Umgebungen entwickelt und bringt leistungsstarke UV-Laser mit exzellenter Performance hervor.
Die patentierte ICON™-Technologie (Integrated Ceramic on Nickel) von LightMachinery ernmöglicht dem IPEX Laser eine lange Gaslebensdauer (PresseBox) (Martinsried, ) Die patentierte ICON™-Technologie (Integrated Ceramic on Nickel) von LightMachinery ernmöglicht dem IPEX Laser eine lange Gaslebensdauer, eine ausgezeichnete optische Stabilität und eine präzise Steuerung der Laser-Betriebsparameter.

Durch das Anbringen von automatisierten Ventilen von EasyClean am Faseranschluss ist es möglich, die Laserkammer zu schmieren und dabei das Füllgas / Passivierung, während die Resonatoroptiken zum Reinigen oder Warten ausgebaut werden, zurückzuhalten.

Einfache Bedienung und wirtschaftlicher Betrieb, die IPEX-700 Laser kombinieren die Vorteile der Hochpräzisions-Excimerstrahlung, nämlich die niedrigsten Betriebskosten und die höchste Verfügbarkeit, die der Markt zu bieten hat.

Der IPEX-700 ist ideal für Anwendungen wie gepulste Laserdeposition (PLD). Ein Excimer-Laser kann dazu verwendet werden, Targetmaterialien in einer Vakuumkammer zu zerstäuben, die dann auf einem Substrat abgeschieden werden.

Der Prozess hat mehrere Vorteile gegenüber konventionellen Prozessen. Dazu gehören:
  • Verwendung verschiedener Targetmaterialien: Metalle, Keramiken oder Oxide
  • Unabhängige Steuerung der Abscheidungstemperatur und des Umgebungsdruckes (Sauerstoff, Helium, Stickstoff...).
  • Die abgeschiedene dünne Schicht hat dieselbe Stöchiometrie wie das Targetmaterial
  • Herstellung von neuartigen Beschichtungen wie z.B. Diamantschichten
Vorteile der IPEX-700 Serie:
  • Verlängerte Gaslebensdauer, lange Auswechselintervalle, niedrige Betriebskosten
  • Vereinfachte Instandhaltung, hält Füllgas und Passivierung zurück
  • Liefert eine 200µrad-Strahllage-Stabilität
  • Keine Anpassungen nach dem Reinigen oder Austausch der Optiken notwendig
  • Schnelle, präzise Energiestabilisierung im internen, externen und Burst-Triggermodus
  • Exzellente Energiestabilität, besser als 1,0% (KrF)

Kontakt

AMS Technologies AG
Fraunhoferstrasse 22
D-82152 Martinsried
Jan Brubacher
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