Die ganze Welt der Mikro- und Nanopositionierung

Auf dem Messestand zur Control der Firma Physik Instrumente (PI) wird in Halle 1 1512 eine breite Palette von hochpräzisen Mikro- und Nanopositioniersystemen vorgestellt:
Hochpräziser PiezoMove® Aktor mit bis zu 480 µm Stellweg und 0,2 nm Auflösung. (PresseBox) (Karlsruhe, ) Hochpräzise PiezoMove® Aktoren sind ideal für OEM-Applikationen geeignet, bei denen es auf hohe Dynamik und Auflösung auf kleinstem Raum ankommt. Dank der Hebelübersetzung erreichen die Piezoaktoren große Stellwege bis zu 480 µm bei nur 0,2 nm Auflösung. PiezoMove® Aktoren bieten gegenüber vorgespannten Piezoaktoren wesentlich größere Stellwege und eine hohe Führungsgenauigkeit, im Vergleich zu Piezostelltischen bieten sie deutlich geringere Abmessungen.

Die extrem genauen kapazitiven Sensoren PISeca™ ermitteln berührungslos Größen wie Abstand, Position und Länge mit Sub-Nanometerauflösung. Als Einelektroden-Sensoren messen sie berührungslos gegen alle elektrisch leitenden Oberflächen. PISeca™ Sensorköpfe D 510 sind erhältlich für Messbereiche von 20 µm bis 500 µm. Mit der Auswerteelektronik E 852 wird eine unübertroffene Auflösung bis 0,2 nm erreicht bei einer exzellenten Linearität kleiner 0,1%. Mit einer hohen dynamischen Bandbreite bis zu 6,6 kHz eignen sie sich auch für dynamische Schwingungsmessungen. Die einfache Integration der PISeca™ Sensoren wird durch standardisierte Messköpfe erleichtert.
Als Alternative zu Motor-Spindel-Kombinationen bieten sich PILine® Piezo-Linearantriebe mit flacher, kompakter Bauform sowie hohen Geschwindigkeiten bis 600 mm/s an. Mit Auflösungen bis 0,1 μm bei Stellwegen bis 150 mm erschließen sie viele Anwendungsbereiche. Die verschiedenen Integrationsstufen lassen sie sich gut an die jeweilige OEM-Applikation anpassen.

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Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG
Auf der Römerstraße 1
D-76228 Karlsruhe
Holger Hoffmann

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