Ultragenaue Abstandsmessung — PISeca™ kapazitive Wegsensoren

Extrem genaue PISeca™ Positionssensoren in Einelektroden-Bauform ermitteln Größen wie Abstand, Position und Länge mit Sub-Nanometerauflösung.
Die Referenz: PISeca™ Positionssensoren mit Sub-Nanometerauflösung (PresseBox) (Karlsruhe, ) Die kapazitiven Sensoren von Physik Instrumente (PI) messen berührungslos gegen alle elektrisch leitenden Oberflächen. PISeca™ Sensorköpfe D-510 sind erhältlich für die Messbereiche 20 µm, 50 µm und 100 µm. Alle drei Messbereiche können elektronisch um die Faktoren 2, 2,5 und 5 erweitert werden, also maximal auf 500 µm.

Mit der äußerst rauscharmen PISeca™ Auswerteelektronik E-852 beträgt die unübertroffene Auflösung bis 0,2 Nanometer (< 0,001% Messbereich). Dank der integrierten Linearisierungsfunktion wird eine exzellente Linearität bis 20 Nanometer erreicht (< 0,1% Messbereich). Aufgrund ihrer hohen dynamischen Bandbreite bis zu 6,6 kHz eignen sich die Sensorsysteme auch für dynamische Schwingungsmessung von Maschinen- und Anlagenteilen.

Kapazitive Wegsensoren werden beispielsweise von PI selbst seit Jahren in höchstgenauen Nanopositioniersystemen eingesetzt. Einelektroden-Sensoren wie PISeca™ sind prinzipiell sehr robust sowie temperatur- und langzeitstabil. Die einfache Integration der PISeca™ Sensoren wird durch standardisierte Messköpfe und eine Auswerteelektronik mit LED-Messbereichsanzeige erleichtert.

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Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG
Auf der Römerstraße 1
D-76228 Karlsruhe
Holger Hoffmann

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