What You See Is What You Get: Lokale Messungen an dünnen Schichten mit AutoView von HORIBA Scientific

(PresseBox) (Bensheim, ) Im neuen Schichtmesssystem AutoSE von HORIBA Scientific sorgt die patentierte Integration einer Kamera in den Messkopf für den gewünschten Durchblick - das AutoView-System. Damit lassen sich ausgewählte Messpositionen exakt erkennen und Messungen werden auch in kleinsten Strukturen möglich. Die wählbaren Spotgrößen liegen zwischen 25 und 500 µm.

Neben anderen vorteilhaften Innovationen, wie z. B. vollständiger Automatisierung, Autokalibrierung / validierung und der einfachen Handhabung mittels vordefinierter Prozeduren, verfügt das AutoSE über ein softwarekontrolliertes Mikrospotsystem. Abhängig von der Probenbeschaffenheit ist es oft notwendig, sowohl die Größe als auch die Position des Messspots an die Probenoberfläche anzupassen. Bei sehr kleinen Strukturen, gekrümmten oder verschmutzten Oberflächen, ergibt sich dabei das prinzipielle Problem der Justage: Zudem ist es mit einer außen angebrachten Kamera, insbesondere bei wenig streuenden Oberflächen wie Gläsern oder Halbleitern, kaum möglich, den Spot überhaupt zu erkennen - daraus resultiert eine prinzipielle Ungewissheit über die tatsächliche Messposition.

Gerne können Sie unser Applikationslabor in Unterhaching besuchen und das AutoSE mittels eigener Proben testen.

Kontakt

HORIBA Jobin Yvon GmbH
Neuhofstr. 9
D-64625 Bensheim

Birgit Jung
HORIBA Jobin Yvon GmbH
Sales Assistant
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