Coherent stellt Excimerlaser Indystar mit 2 kHz vor

IndyStar (PresseBox) (Santa Clara, Calif., ) Coherent Inc. (Santa Clara, CA) (Nasdaq: COHR) fügt der bekannten IndyStar-Produktfamilie von kompakten Excimerlasern ein neues Modell hinzu, welches sich durch eine höhere Repetitionsrate von 2 kHz zur Erreichung erhöhter Durchsätze auszeichnet. Zudem enthält der voll Semi S2zertifizierte IndyStar 2kHz einige neue Strahlungs-Stabilisierungs-Eigenschaften, was ihn zur idealen Laserquelle für die Fertigung, die Qualitätstests und die Inspektion in der Halbleiterproduktion sowie für Anlagen zur Mikromaterialbearbeitung macht. Der neue IndyStar 2 kHz wird in zwei Varianten angeboten: mit einer stabilisierten Laserleistung von 8 Watt bei 193 nm (ArF) bzw. 12 Watt bei 248 nm (KrF).

Der neue IndyStar verwendet eine erweiterte Elektronikplattform, welche zwei wichtige neue Stabilisationsfunktionen ermöglicht: den so genannten POWERLOK und die TIMELOK-Funktion.

Die Funktion POWERLOK stellt durch aktive Stabilisierung eine konstante Pulsenergie jedes einzelnen Laserpulses sicher, was vor allem für Applikationen interessant ist, welche mit einem Pulszug (burst) oder einer spezifischen Pulsabfolge arbeiten. Die Funktion TIMELOK sorgt für eine exzellente "triggertopulse" -Zeitstabilität, was eine enge Abstimmung mit anderen Geräten unterstützt. Zudem verursachen die IndyStar-Laser weiterhin die niedrigsten Betriebskosten, was zum großen Teil daran liegt, dass sie mit der felderprobten ALMETA (All-Metal-Ceramic)- Röhren-Technologie ausgestattet sind, welche eine hohe Verlässlichkeit und eine lange Lebensdauer sicher stellt. Im 193 nm-Betrieb zeigt der neue IndyStar 2 kHz eine Lebensdauer der Röhren und Optiken von über einer Milliarde Pulse, was einer wartungsfreien Betriebszeit von über einem Jahr entspricht.

Der IndyStar 2 kHz liefert schnellere und qualitativ bessere Ergebnisse bei Halbleiter-Applikationen wie der Prüfung von Fotomasken und fotolithografischer Optiken. Er ermöglicht auch andere Hochgeschwindigkeitsprozesse, wie z.B. die präzise Materialabtragung und hochwertige Markierungsapplikationen.

Coherent Inc. wurde 1966 gegründet und ist ein "Russell 2000 Index" - Unternehmen, und ist ein Weltmarktführer für Laseranwendungen in der Industrie und Wissenschaft. Bei Fragen wenden Sie sich bitte direkt an Hans-Gerd Esser, Produktlinien-Manager, unter+49 (551) 6938-344. Für weitere Informationen zu Coherent wie z.B. Produkte oder Finanzdaten besuchen Sie bitte unsere Web-Seite http://www.Coherent.com.

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