Jenoptik zur SEMICON WEST 2010

Kundenspezifische mikrooptische Lösungen für Halbleiter & Flat Panel Display Markt
CaF2 –Gaussian Diffusor (PresseBox) (Jena, ) Jenoptik hat die Prozesseigenschaften für mikrooptische Elemente aus CaF2 (Kalziumfluorid) optimiert und für die verschiedensten Applikationen auf dem Halbleitermarkt angepasst. Diese und weitere kundenspezifische mikrooptische Elemente präsentiert Jenoptik in San Francisco (CA), USA.

Hocheffiziente Mikrooptik vom DUV bis zum Infrarot Die hohe Laserbeständigkeit und Transparenz von CaF2 machen dieses Material zur ersten Wahl, wenn Excimerlaser für die Mikrolithografie zum Einsatz kommen. Die herausragenden Eigenschaften vom tiefen Ultravioletten bis zum infraroten Spektralbereich eröffnen darüber hinaus Anwendungen für andere Excimerlaserwellenlängen, wo hohe Leistungen verlangt werden.

Der Geschäftsbereich Mikrooptik der Jenoptik-Sparte Optische Systeme bietet kundenspezifische OEM-Komponenten in CaF2 als einer der Weltmarktführer von DUV Mikrooptiken an.

Das CaF2-Produktportfolio hochflexibler Mikrostrukturen umfasst refraktive und diffraktive Lösungen: beispielsweise refraktive Wabenkondensoren zur Strahlhomogenisierung, diffraktive Linsenarrays zur Füllfaktorerhöhung, DOEs für Strahlhomogenisierungen sowie DOEs für die Inspektion von Lithografie-Masken. Diese Lösungen eignen sich ideal für modernste Lithografie-Anwendungen in der Halbleiter & Flat Panel Display Industrie, welche höchste Anforderungen an Uniformität, Effizienz und Strahlungsleistung stellt. Durch das Design und die Fertigung mikrooptischer CaF2-Lösungen kann eine signifikante Reduzierung der Komplexität optischer Systeme erreicht werden.

Die refraktiven optischen Elemente werden vorzugsweise bei anamorphen Abbildungen eingesetzt, wobei man hier nicht auf zylindrische Flächen limitiert ist. Rechteckige refraktive Homogenisierer auf zwei Oberflächen können auch als Homogenisierer für anamorphe Felder angeboten werden.

CaF2-Mikrooptiken können auf Substrate von 75 -150 mm Durchmesser und 0,5-6 mm Dicke gefertigt werden. (Download für Datenblatt) - http://help.adobe.com/...

Zum Geschäftsbereich Mikrooptik

Der Geschäftsbereich Mikrooptik ist Anbieter eines vollständigen Portfolios mikrooptischer Produkte, die ausgezeichnete Funktionseigenschaften aufweisen. Aufbauend auf einer breiten Palette technologischer Kompetenzen können die Kunden zwischen einer Vielzahl von Möglichkeiten wählen - von der Entwicklung und dem schnellen flexiblen Prototyping bis hin zur Fertigung refraktiver, diffraktiver oder hybrider mikrooptischer Lösungen in kleinen und großen Serien.

Die Beherrschung einer reichhaltigen Materialpalette von CaF2, Fused Silica, Si, Ge, GaP, verschiedene Gläser, Keramik über Kunststoffe bis zu ZnSe gestattet die Abdeckung eines breiten Wellenlängenbereiches vom DUV bis zum IR und stellt die Grundlage dar, verschiedenste Applikationen mit Produktionsanlagen in der Halbleiterfertigung, Lasermaterialbearbeitung sowie mit Geräten für Life Science oder die Sicherheits- und Wehrtechnik zu lösen.

Sowohl OEM-Hersteller als auch Systemintegratoren finden im Geschäftsbereich Mikrooptik einen kompetenten Ansprechpartner für neue und leistungsfähige Lösungen.

Zum Halbleiter & Flat Panel Display Markt

Jenoptik ein führender Anbieter von kundenspezifischen optischen und mikrooptischen Systemen, Modulen und Komponenten für den kompletten Wellenlängenbereich vom EUV über das DUV bis zum Infrarot. Unsere Kunden aus der Halbleiter- und Flat Panel Display Ausrüstung profitieren von unserer Design- und Lösungskompetenz, von unseren Hochtechnologien zur Optik- und Mikrooptikfertigung und unserer tiefgreifenden Erfahrung mit Themen wie z.B. Lebensdauer bei hohen Laserleistungen und Photokontamination im UV, Lösungen zur Homogenisierung von Licht sowie UVstabile Beschichtungen.

Kontakt

JENOPTIK-KONZERN
Carl-Zeiß-Straße 1
D-07743 Jena
Markus Besenbeck
JENOPTIK Optical Systems GmbH / Optische Systeme
Director Marketing & Business Development
Ines Schindler
JENOPTIK Optical Systems GmbH / Optische Systeme

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