Hochaufgelöste 3D Schwingungsmessung an Mikrostrukturen – Das neue MSA-100-3D

(PresseBox) (Waldbronn, ) Wie lassen sich 3D-Bewegungen von MEMS und anderen kleinen Strukturen in Echtzeit und mit hoher Auflösung erfassen?

Der neue MSA-100-3D Micro System Analyzer ermöglicht 3D-Schwingungsmessung an Mikrobauteilen mit einem neuen und patentierten Messprinzip. Er erfasst Pikometer-genau nicht nur Out-of-plane (OOP) sondern auch In-plane (IP) Bewegungen. Er ist damit das ideale Werkzeug für die Entwicklung von MEMS und kleinen feinwerktechnischen Bauteilen z.B. in der Festplattenindustrie. Die hochpräzise Interferometer-basierte Messung analysiert das vom Messobjekt zurückgestreute Laserlicht in drei Raumrichtungen und ermittelt so die 3D-Bewegungskomponenten der Probe.

Dabei werden Auflösungen im sub-pm Bereich für alle drei Raumrichtungen erzielt. Die Nutzung nur eines aktiven Laserstrahls mit scharfer Fokussierung ermöglicht dabei zudem eine hohe laterale µm-Auflösung.

Der AMA-Fachverband zeichnete das MSA-100-3D mit dem AMA-Innovationspreis 2013 aus.


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