Neuer MEMS-Sensor für ultraniedrige Druckmessung

Höchste Genauigkeit und Zuverlässigkeit in medizinischen und industriellen Anwendungen
SM9543 (PresseBox) (Dortmund, ) Die Elmos Tochtergesellschaft SMI (Silicon Microstructures, Inc.) präsentiert den neuen MEMS-Drucksensor SM9543. Der Sensor ist speziell für medizinische und industrielle Anwendungen im ultraniedrigen Druckbereich konzipiert und verfügt über höchste Genauigkeit und Zuverlässigkeit.

Der SM9543 bietet mit einer 14-Bit Auflösung und einer 1,5%igen Genauigkeit nicht nur über eine hervorragende Leistung, sondern garantiert mit einer Nullpunktstabilität von 0,2% pro Jahr auch eine sehr hohe Langzeit-Zuverlässigkeit für sicherheitsrelevante Medizintechnik-Produkte. Der Sensor ist für den ultraniedrigen Druckbereich von +/- 5 mbar (+/- 0,07 PSI) verfügbar. Als Schnittstelle dient dem SM9543 ein benutzerfreundliches digitales I²C-Interface.

Mögliche Anwendungen sind: variable Volumenstromregler (VAV), Klimaanlagen (HVAC), Beatmungsgeräte (CPAP) und Spirometer (Atemvolumen-Messgerät).

Der Kern des SM9543 ist ein MEMS Drucksensor, der auf SMIs neuartiger und proprietärer Siliziumtechnologie-Plattform basiert. Der Einsatz dieser Technologie ermöglicht es dem Entwickler in der Anwendung, die höchste Genauigkeit sowie eine langfristig stabile Leistung zu erreichen. Damit können u.a. die anspruchsvollen Standards der Medizinbranche erfüllt werden.

Kombiniert mit dem MEMS Drucksensor ist ein State-of-the-Art Auswerte-IC realisierbar. Dieser ermöglicht eine vollständige Druckkalibrierung und Temperaturkompensation mit einer digitalen I²C-Schnittstelle. Das Drucksensor-Gehäuse basiert auf gängigen Standards der Aufbau- und Verbindungstechnik und ist nach den SOIC-16 JEDEC-Spezifikationen ausgelegt. Daher kann der Kunde ein einfaches PCB-Design aufsetzen und eine unkomplizierte Weiterverarbeitung durchführen. Der Drucksensor ist vollständig qualifiziert und befindet sich in Produktion.

Der SM9543 kann auch für kundenspezifische Lösungen angepasst werden.

Kontakt

Elmos Semiconductor AG
Heinrich-Hertz-Str. 1
D-44227 Dortmund
Mathias Kukla
Pressereferent

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