Kosteneffizienter PPB Sauerstoff Analysator für Gasreinheit in Halbleiter Anwendungen

PI2-UHP Analysator (PresseBox) (Friedrichsdorf, ) Michell Instruments bietet Kunden aus den Industriebereichen Halbleiter und Gasherstellung einen speziell geeigneten Spurensauerstoff Analysator an, der die Qualität von ultrahochreinen (UHP) Gasen sicherstellt.

Der Sauerstoff Analysator PI2-UHP von Analytical Industries, der Schwesterfirma von Michell in der Firmengruppe Process Sensing Technologies (PST), ist kosteneffektiv und top ausgestattet.

Mit einer unteren Nachweisgrenze von weniger als 100 PPT wurde er speziell für die Messung von Kontaminierungen durch Sauerstoffspuren in UHP Gasen entwickelt. Der Pico-Ion elektrochemische Sensor ist wartungsfrei und Routine Kalibrierungen sind dank der Auto-Kalibrierung und dem integrierten Aufbereitungssystem einfach und schnell durchzuführen. Die externe Zuführung von Elektrolyten ist nicht notwendig.

Zur Sicherstellung der vollständigen Freiheit von O2 im Nullgas, wurde ein Sauerstoff-Scrubber als Bestandteil in das Aufbereitungssystems integriert. Ein Bypass-Vierwegeventil isoliert und schützt den Sensor vor hohen Sauerstoffgehalten während der Inbetriebnahme, bei der Umschaltung von Messlinien und während der Wartung.

Kontakt

Michell Instruments GmbH
Max-Planck-Straße 14
D-61381 Friedrichsdorf
Evelyn Adrian
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